000 00304nam a2200145Ia 4500
008 220105s9999 xx 000 0 und d
041 _aENGLISH
082 _a621.381
100 _a"Liu, Chang"
245 0 _aFoundations of Mems
250 _n2
260 _bPearson
365 _b599
942 _cBK
999 _c205743
_d205743